曾经世界一流的光刻机，为何没落？

更新时间：2024-11-08 13:47  浏览量：16

芯片，光刻机，是目前热门的话题。芯片已进入现代社会的各种领域，大到通信卫星、飞机、导弹、航母、高端精密机床、小到小孩玩具可以说无处不在，与人类的生活息息相关。

芯片在人们的想象之中代表着高科技，只有非常发达国家的西方国家尤其是美国才能制造，特别是制作芯片最重要的设备——高端光刻机，世界上只有荷兰阿斯玛公司才能制造。

但是你能想到这种世界公认最难制造的光刻机在一九六五年我们中国就已经开始研发到一九七一年制造成功了。

我说到这里大家不了解内情的人们肯定不会相信，在那个建国不久，百废待兴，曾经吃不饱穿不暖的艰苦的中国能制造光刻机？别开玩笑了！博主在编故事吧？我是不是在编故事，是不是在获取流量，我用事实来回答大家的疑惑。

制造光刻机的科学家徐端颐

中国的光刻机与一个贵州籍的科学家徐端颐密切相关。1955年，从贵阳一中高中毕业的徐端颐以优异成绩考入清华大学，1961年从清华精密仪器系毕业后留校任教。后来在知识分子到农村去，到边疆去，到祖国最需要的地方去的号召下，徐端颐随请华大批教职员工到江西鄱阳湖农场参加农业劳动。

一天深夜，北京突然来紧急电话，命令徐端颐立即返回北京，有重要任务。回到北京后，徐端颐才知道，原来是要他负责制造国家半导体工业和国防工业急需的关键设备——“自动光刻机”和“分部重复照相机”。

于是这位来自贵州的青年助教徐端颐临危受命，承担了光刻机研发制造的重任。在清华精密仪器大楼建立了精密仪器光学仪器加工工厂(9003试用验基地)，沈钊先生任系主任兼厂长。学校将整个工厂的工程技术人员队伍都划归徐端颐统一调配。

因为光刻机的制造难度极高，技术工艺太复杂，国际“巴黎统筹委员会”(巴统)

该组织是以美国为首的专门对共产党国家实行经济技术封锁禁运的组织

早就将其光刻机列为尖端技术产品，对华实行技术封锁和禁运。此时的中国与外界隔绝，根本不可能获得国外任何技术资料。徐端颐的光刻机团队只能一切从零开始，自己设计图纸和与生产相关的专用加工设备、检测仪器以及光刻机高精密零件等一切只能自己加工制造。

在当时那极其艰难困苦的条件下，徐端颐的团队仍十分努力投入研发之中。从光刻机干涉化可稳频的氦-氖气体激光器的研制做起，直到精密导轨、滚珠丝杆、步进电机、数字控制的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，都是自己设计制造。虽然徐端颐团队过去都没有光刻机的这方面的知识和经验，但他们都非常认真和努力。更难能可贵的是，在当年那个政治挂帅没有一分奖金和加班费，但他们仍然是以高度的爱国精神，实现打破西方的技术封锁，争取世界前列。

在徐端颐团队的艰苦奋斗下，他们不负众望，终于在1971年研制出中国第一台光刻机和分部重复照相机，并投入规模生产，供应全国半导体行业使用，以之于国内半导体行业发展良好。这时的徐端颐又带领团队研发更先进的“分布投影光刻机”，这种光刻机设计当时处于国际最高水平。该光刻机于1980年研制成功后，不仅通过了国家正式鉴定，更是获得中科院王守武院士的称赞。而清华大学也凭此成为当时我国唯一能自主研发、生产国际一流水平的高端光刻机单位。

当年我国清华大学当年制造的高端光刻机

这一技术在当年也只有美国、日本等少数国家撑握这样高科技和制造工艺的研发和制造。徐端颐团队在当年处于世界最高水平，然而当时荷兰的“ASML”公司还没有“出生”。按理说当时我们的光刻机技术在全世界处于领先水平，为什么如今落后于人，被卡脖子？事实上一切与西方的垄断阴谋有着不小的关系。

在我国新型光刻机研发成功后，1991年3月，在北京展开了“首届全国工业展览会”，并邀请诸多外国专家前来参展，而在这批专家中，大多数都是美国日本的光刻机专家。他们惊叹我国能够独立自主制造光刻机的同时，更是问东问西，不懂什么就问什么，而当时我们的科研人员并没有“知识产权”这个概念，不懂保密，更没有申请技术专利。对外国专家也较为友好，于是全盘托出。这些外国专家见到中国人这么友好，技术一点也不保密，暗中欣喜诺狂，他们大有收获，实际这些个专家都是技术间谍。

自从这次展会结束后，西方国家的专家们在中国先进光刻机的基础上，对他们制造的光刻机进行了改进，使得他们的光刻机有了比我国的光刻机更先一步进了。同时蓄谋了一个大“阳谋”，使出西方资本主义垄断的贯用伎俩，低价恶性竞争。首先，“巴黎统寿委员会”解除了光刻机对中国的禁运和封锁令。这样做的目的，是为了让他们的光刻机以低于我国光刻机较大的价格卖给我们，实行低价恶性竞争。同时又邀请我国已购买他们光刻机的单位到他们国家参观访问，并且免费供应来回机票、和在他们国家旅游的一切费用，当然暗中还免不了给一定比例的回扣。在当年，能出国“考察”开眼界，是非常时髦的，再加上这样优厚的条件下，我们使用光刻机的单位纷纷和清华光刻机解除合同，使得我们的光刻机没有市场。还有一些“精明能干”的经济学家和精英们秉承“造不如买”的理念指导下，清华的光刻机在国内外很快就没有了市场。

光刻机没有了市场也就意味着断了资金链，资金链一断，厂就无法正常运转，再加上一些崇拜西方的公知们的冷嘲热风，资金和舆论对徐端颐团队大为不利，就这样清华光刻机厂就没落了。 曾经世界一流的制作芯片的光刻机，现如今被美西方国家卡脖子，大家有如何感想呢？

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