从沙子到硅晶圆，3D动画告诉你答案芯片 科技
发布时间：2026-01-27 15:43:45 浏览量：1
·将高纯度多晶硅块填充石英坩埚。
·将多晶硅熔化，长成单晶锭。
·打磨锭的表面并将其切割成合适的尺寸。
·使用多股钢丝切割锭块。
·将直角晶圆边缘打磨成圆形。
·将晶圆置于板之间，并在施加压力的同时旋转。
·使用化学溶液去除损坏的晶圆表面。
·使用高速轮去除晶圆表面曲率。
·通过短暂加热去除晶圆内的金属污染。
·通过机械和化学处理确保最终平整度。
·检查晶圆形状、平整度等。
·检查晶圆表面是否有污染杂质。
·化学气相沉积法生长硅单晶薄膜。
·通过包装保护晶圆免受冲击、灰尘和潮湿。
300mm硅片制造工艺流程图。
